坐标丈量机的基本原理是将被测零件放入它答应的丈量空间，准确的测出被测零件外表的点在空间三个坐标方位的数值，将这些点的坐标数值通过核算机数据处理，拟合构成丈量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，通过数学核算的办法得出其形状、方位公役及其他几许量数据。在丈量技术上，光栅尺及今后的容栅、磁栅、激光干涉仪的呈现，革命性的把尺度信息数字化，不只能进行数字显现，且为几许量丈量的核算机处理，从而用于操控打下根底。
三坐标丈量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个彼此笔直的导轨上移动，此探测器以触摸或非触摸等方法传送信号，三个轴的位移丈量体系(如光学尺)经数据处理器或核算机等核算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功用丈量的仪器”。
